溅射电源(各种靶材对应的PVD镀膜颜色)

Posted 2023-06-01

篇首语：金鞍玉勒寻芳客，未信我庐别有春。本文由小常识网(cha138.com)小编为大家整理，主要介绍了溅射电源(各种靶材对应的PVD镀膜颜色)相关的知识，希望对你有一定的参考价值。

溅射电源(各种靶材对应的PVD镀膜颜色)

选择靶材种类、材质和气体(氮气、氧气、乙炔、甲烷、氩气等),确定靶材及气体种类,然后调整气体比例、用量、溅射功率、溅射时间、基材处理温度、溅射温度、溅射时间等工艺参数,制备出颜色膜层,广泛应用于装饰性镀膜行业.

靶材膜层颜色可调的PVD镀膜方法

1、镀金属膜层,将待镀产品传入装有金属靶材的镀膜腔室,开启泵抽真空及加热装置进行基底加热,使得本底真空达到1×10-3Pa 及达到80-150℃工艺温度后,向腔室通入10-1000sccm的氩气,启动溅射电源,设置溅射功率1-15KW,镀膜时间10-300S,得到厚度为1-100nm的金属膜层,金属膜层为铜(Cu)、银(Ag)、铝(Al)、铬(Cr)等金属膜层,或镍铜(NiCu)、镍铬(NiCr)等合金膜层;

2、镀低折射率膜层,将镀完金属膜层的产品传入装有可形成低折射率膜层的靶材镀膜腔室,加热达到80-150℃的工艺温度,向腔室通入工艺气体,设置溅射功率1-15KW,镀膜时间1-300S,得到厚度为1-100nm的低折射率膜层,此低折射率膜层为氧化硅、氮化硅等膜层;

3、镀高折射率膜层,将镀完低折射率膜层的产品传入装有可形成高折射率膜层的靶材镀膜腔室,加热达到80-150℃的工艺温度,向腔室通入工艺气体,设置溅射功率1-15KW,镀膜时间1-300S,得到厚度为1-100nm的高折射率膜层,所述高折射率膜层为氧化钛、氮化钛、氧化锆、氮化锆、氧化铌、氮化铌、氧化锌、氧化铟、氧化铝、氧化铁、氧化铬、氮化铬等膜层,此高低折射膜层的工艺气体为Ar、N2、O2中的至少一种,其中Ar气体流量为10-1000sccm,N2气体流量为10-1000sccm,O2气体流量为10-1000sccm;

4、重复步骤二和步骤三数次,得到不同颜色的膜层,重复步骤二和步骤三的次数为1-100次.

以下是PVD真空镀膜装饰薄膜常用材料及其常用气体制作的各类装饰颜色涂层:

锆靶+氮气:黄绿调金黄色

锆靶+甲烷:深浅黑色

锆靶+氧气:白色、透明膜

锆靶+氮气+甲烷:金色、仿玫瑰金

铬靶+甲烷:深浅黑色

铬靶+氮气:浅黑色

铬靶+氮气+甲烷:银灰色

铬靶+氧气:轻黄色、紫色、绿色

铬靶+氧气:银色

不锈钢靶+氧气:紫色

不锈钢靶+氮气:蓝色

不锈钢靶+甲烷:亮黑色

不锈钢靶+甲烷+氮气:蓝黑色

硅靶+氮气:黑色

硅靶+氧气:混浊白、透明膜

硅靶+甲烷:黄色、绿色、蓝色、黑色(靶材纯度高于99%仅能调黑色)钛靶+氧气:光学膜七彩截色.

钛靶+甲烷:深浅黑色( DLC制备不能达标)

钛靶+氮气:仿金色、黄铜色、紫色、红色

钛靶+氮气+甲烷:仿玫瑰金、黑绿色、复古黄、棕色、紫色钨靶+氮气:棕黄色钨靶+甲烷:深浅黑色

钨靶+氧气:紫色,鲜黄色,棕色,蓝色.

更多详情请留言。