洁净室仅限于什么进入(净化车间管理手册及管理规范)
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洁净室仅限于什么进入(净化车间管理手册及管理规范)
1洁净度的定义
指空气中飘荡的灰尘在一定容量的气体中包含的程度，显现灰尘或污染物质的污染程度的标准。
2洁净室（CLEAN ROOM）的定义
指空气中被包含的灰尘的个数在规定的限度内被管理的空间为定义
指适用于半导体制造的CLEAN ROOM
是除灰尘外各种环境（恒温,恒湿，恒压，洁净领域间空气流量的均恒）
3洁净室（CLEAN ROOM）的概要
洁净室是19世纪末从手术室开始引进，第2次世界大战中随着美国原子弹的制造，
放射线除去粒子之用而开发的高性能HEPAFILTER（HighEffciencyParticulateair）的出现而各种无菌
无尘化成功使得到维持高度洁净度空间。
4洁净室（CLEAN ROOM）的各类利用
A. 工业用洁净室（Industrial Clean Room）
以单纯的灰尘等出去粉尘为目的地洁净室
利用与电子，光学机械，精密机械制造/组装，印刷等。
B.（Bio CLEAN ROOM）
以空气中浮游的未生物质，除去粉尘为目的地洁净室
利用与医院，制药公司，制造食品
C.蜡烛洁净室（Super CLEAN ROOM）
不单纯的灰尘而且0.1um大的灰尘粒子和未生物也除去的洁净室
向往于尖端半导体产业，油田工学等产业
1洁净度的规格
指洁净度的国际规格是FED-STD-209适用于大部分半导体工厂。
使用显现洁净度的“CLASS”,这是1ft3（30cm*30cm*30cm的大小）
内到0.5以上的显现粒子有几个以下。
CLASS | 粒子数 /1ft3 | ||
CLASS 1 | 0.1um | 0.3um | 1 |
CLASS 10 | 0.5um | 3um | 10 |
CLASS 100 | 35 um | 30um | 100 |
CLASS 1000 | 350 um | 300um | 1000 |
2灰尘粒子的大小
种类 | 大小 |
烟 | 0.01-1um |
涂料 | 0.1-1um |
化妆品 | 0.5-1um |
细菌 | 0.3-1um |
头发 | 60-1um |
*参考；
1um=1/10000mm=10.000A :人的眼睛可以看得见的大小10um
3.分析引起灰尘的要因
污染物质的各类 | 数量 | 比率（%） |
人体分泌物 | 23 | 46 |
纤维类（无尘仪器等） | 4 | 8 |
道具（寸工具，扫除材） | 2 | 4 |
残存P/R渣滓 | 6 | 12 |
Si 弹片，石英粉末 | 11 | 22 |
1洁净室的管理目地
根据半导体产品的集成的提高，制造刚才里包含在的污染粒子
给产品的特性及信赖度造成大的影响。
直接带给产品影响的污染粒子的大小是电路船幅的1/3程度
于是带给半导体制造工程恶影响的所有污染开始有保护产品的目的。
2．污染粒子好优良产品的关系
带给半导体优良产品影响的要因有parbcle，Coniaminagon,Bronken,
Scratch,工程变数等各种。
A. 表面桌的缺陷分析：60—70% 是关于灰尘的缺陷。
B. 灰尘在表面桌上附着在清除后半导体的芯片成为不良概率是
*一回附着在清除时：78.3%
C．灰尘带给优良产品的影响：占全体数量的30%以上。
3.洁净室的环境条件
A．气流：洁净室内要形成预防优良产品污染的气流
B．风速；测定从过滤到室内流入的空气的流速，从过滤下端 15—20cm位置90士20
FPM（0.45士0.1MS）管理
C．室内空气压；为了被污染的空气禁止流入到洁净室内引接的空间，
但比起这空间还是维持高压力的管理。
D．温度；管理在维持适当水准的室内温度，一般维持22士2度
E．湿度；管理在维持适当水准的室内湿度，一般维持50士5%的相对湿度
F．振动；管理在维持适当水准以下的振动，一般维持在PHOTO地域1mm
其他地域维持到2mm以下
G．洁净度；要维持适当水准二级以下浮游微粒子浓度的
带给半导体工程最大的影响。
1．洁净度的定义
A. 禁止穿毛织类，毛衫类，坎肩
B. 出入FBALINE的所有人员要经过风淋室及除尘室
C. 室内隔着差押隔断外部空气的流入
D. 需搬入洁净室的所有装备，寸工具，原辅助材料都要洗净后搬入
2．防止灰尘的积压
A.清除内部不必要的凹凸
B.休息后，停电后，勤务交代后寸工具，装备，备用等要用DIWarer或者IPA洗净
3．抑制引起灰尘
A. 携带洁净仪器
B. 物品的使用
C. 洁净室出入人员和Bay内人员统制
D. 洁净室出入者禁止不必要的动作
4．已引起的灰尘即刻除去
A. 被污染的空气即刻排出
B. 检查洁净空气的流速及排气状态
C. 实施定期的清洗洗净
D. 清除静电氨
5．洗净设备的准备
A．准备AirSshower,Air Tunnel等
B．化工药品瓶，洗涤器安装运用
C．周期的洗涤洁净仪器及清除污染的洁净仪器。
1. 洁净室出入者遵守事项
1-1. 洁净室出入者限于读完规定的洁净度培训后领到出入证者。
1-2. 按规定携带洁净仪器。
1-3. 要在洁净室使用的所有物品应干净的洗净后搬入。
1-4. 洁净室出入者违反规定时当做没有入室资格立即退出洁净室。
*违反者洁净室出入遵守事项措施。
*一次揭发；更正指示。
*二次揭发；适当跟有关Team长通报，要求从培训。
*三次揭发禁止出入洁净室。
2. 管理洁净室出入者
2-1. 出入洁净室统制者。
A. 没有被许可者出入洁净室。
B. 未按规定携带防尘仪器，违背维持洁净度的物品所持者。
C. 休息时过激地运动使到出汗的人，衣服是湿的状态的人。
D. 饮食或吸烟后未经过10分钟者。
E. 头屑皮肤较深重者，咳嗽和喷嚏深重者，汗出多的人。
2-2. 管理洁净室出入证
A.洁净室出入者必须洁净培训后，领到出入证在佩戴。
B.为了出入洁净室的外部人需要制定誓约书。
C.外部人出入洁净室为了办理出入证需呈交照片
1-1. 禁止读书，睡眠
1-2. 禁止摄取饮食物
1-3. 禁止使用未成认的医药品
1-4. 禁止闲谈，玩耍，乱写
1-5. 禁止开门说话
1-6. 禁止乱跑或者快步，肃静町步，不要做不必要的徘徊
1-7. 穿防尘鞋不要弄皱或拖
1-8. 禁止依靠在设备，墙，工作台上
1-9. 禁止坐在踏板，地板等，做过激的运动
1-10. 椅子上不许坐1人以上
1-11. 使用指定的出入口
1-12. 不要开着工具箱工作
2- *必须遵守携带防尘仪器的顺序和更换顺序
3- *携带防尘仪器后用镜子确认头发，皮肤等是否露出
4- *携带指定的防尘服。
5- *经过Air Tunnel的时候两手举起往左右轻轻地摇动2-3次，Air Shower结束后入室
6- *区分SrnockColor
Color | 副署携带 | 出入地域 |
Wnre | 人员，制造,PE | Clean Room |
Bue | SUB,EE | Clean Room |
Pnk | Oustomer，Vendor | Clean Room |
7-
8-
1. 适用范围
适用于为了半导体产品的制搬入洁净室（FBA）的所有装备类，寸工具，原辅助材料，物品等。
2. 目的
根据半导体产品的制造必要的所有装备及物品被流入的污染原从词典中清除剂统制而维持高洁净度，为了提高产品的收入和生产性是那个目的。
3. 物品搬入前洗净
3-1 把一次包装（乙烯等）搬入口前清除后搬入装备搬入口。
3-2 把搬入口的外部门开起来（把洁净室的门完全关掉）
3-3准备在搬入口的N2和用清扫器清除异物质
3-4 用沾Do的擦窗器擦得干净
3-5擦不干净的异物用沾上PA的擦窗器擦得干净
3-6洗净完毕后让统制要员确认洗净干净
3-7把搬入口外部的门完全关闭，开洁净室的门反装备搬入洁净室里
4. 搬入物品时应遵守事项
4-1．往洁净室搬入物品时给制造Team通报词典搬入计划书
4-2．制造Team的关联者应参考已通报过的资料，管理关于搬入其他人员及洁净度。
4-3．为了防止洁净室的破损必须在墙和地垃坪等保护台。设置
4-4．简单的物品类禁止用手搬运，推选使用推车
4-6．统制要员违背洁净度规定时统制搬入
5．搬出程序
5-1．一次包装要在洁净室包。
5-2．对外部污染敏感的材料，物品类要真空包装
5-3．长途运输时2重包装在利用缓冲完毕的包装
5-4．统制要员需确认被搬出的所有装备，部件物品类。
*必须遵守携带防尘仪器的顺序和更换顺序
*携带防尘仪器后用镜子确认头发，皮肤等是否露出
*携带指定的防尘服。
*经过Air Tunnel的时候两手举起往左右轻轻地摇动2-3次，Air Shower结束后入室
*区分SrnockColor
Color | 副署携带 | 出入地域 |
Wnre | 人员，制造,PE | Clean Room |
Bue | SUB,EE | Clean Room |
Pnk | Oustomer，Vendor | Clean Room |
退出 |
入室 |
-把室内鞋放到鞋柜里鞋柜
更换工作服 Locker Room
实施Hand Waeher mook Room
实施AirShowerAir Tunne出口
洁净室（CLEAN ROOM） |
*必须遵守携带防尘仪器的顺序和更换顺序
*携带防尘仪器后用镜子确认头发，皮肤等是否露出
*携带指定的防尘服。
*经过Air Tunnel的时候两手举起往左右轻轻地摇动2-3次，Air Shower结束后入室
*区分SrnockColor
Color | 副署携带 | 出入地域 |
Wnre | 人员，制造,PE | Clean Room |
Bue | SUB,EE | Clean Room |
Pnk | Oustomer，Vendor | Clean Room |
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