气浮导轨(QFGT三轴超精密气浮运动台)

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气浮导轨(QFGT三轴超精密气浮运动台)

QFGT三轴超精密气浮运动台

产品特点

<< 非接触式气浮导轨结构

<< 直驱直线电机驱动

<< 龙门结构,大理石平台刚度大稳定性好

<< 定位精度±0.3μm,重复定位精度±0.1μm

<< Z轴采用重力平衡气缸,确保的运行精度

<< 优化线缆管理系统

<< 根据需求可定制

背景介绍

随着半导体行业的不断发展,相应的加工检测设备的性能相应提高,我司在运动控制上有着丰富的制造经验,推出了一款大行程的QFGT系列三轴精密气浮运动台用于晶圆激光加工。同时可应用于激光加工、CCD成像、LED封装检测、晶圆检测以及其它高端制造等行业。

定制化设计

我司制造的大行程三轴气浮运动台用于晶圆激光加工行业,气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程,增加多工位,提升工作效率。

底轴Y轴用于微动调整步进,气浮结构保证了高直线度。上轴X轴搭载激光用于快速扫描切割晶圆,高平面度指标保证了理想的切割直线,同时能够实现高动态响应和快速位置整定,Z轴采用低摩擦气缸配重,用于微调整,气浮结构有效的提升了垂直方向上的性能,行程可定制。

大理石龙门结构设计,刚性好,稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴,龙门架X轴行程可定制,提升工作效率。

精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作,减少停机时间。同时使设备外观更整洁,创造良好的作业环境。

整套设备可以提供焊接件底座,花岗岩基座或主动被动隔振台等。

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