标准功率源(JYC 3000A 型材料器件电学综合测量系统概述)

Posted 2023-05-29

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标准功率源(JYC 3000A 型材料器件电学综合测量系统概述)

JYC 3000A 型
材料器件电学综合测量系统

JYC 3000A 型材料器件电学综合测量系统是结合进口测试硬件开发而成的一款用于材料器件表征的综合解决方案。具有测试精度高、测量范围宽、测试应用软件灵活专业，它支持 IV、CV、脉冲 IV，可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及任意电气器件进行各种电气表征和评测。半导体器件分析仪主机有多种选择，软件还提供多种实用测试功能，支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测。测试条件和测量数据可以自动保存到工作区内，使您毫不费力地完成器件表征。

一、组成：由系统主机和外置计算机及测试夹具等组

二、主要特点
1、进口产品的硬件品质，功能丰富实用的软件功能。
2、较低的价格，多种配置组合灵活、方便。
3、可以根据用户需求进行多种测试功能的扩展，更切近每个使用者的实际需求。
4、软件功能不断升级，对所有用户永久免费升级。

三、配置选项
1、标准配置：主机包括1 个高功率SMU 单元，1 个中功率高精度SMU 单元，1 个CMU 单元，标准器件夹具盒。
2、选型配置：探针台、直线4 探针夹具和介电常数变温测试夹具等。

四、技术指标

1、高功率源测量单元 (HP SMU)
 高达 210 V/3 A
 3 档量程：6v 3A；21V 1.5A；210V 100mA
 电源电压：最小量程 ±200mV,最小分辨率 1μ V
 电源电流：最小量程 ±100nA,最小分辨率 1pA
 测量电压：最小量程±200mV，最小分辨率：100nV
 测量电流：最小量程±100nA，最小分辨率：100fA
 脉冲源：最小可编程脉冲宽度：50 μ s，脉冲宽度编程分辨率 : 1 μ s

2、中功率高精度源测量单元 (HPR SMU)
 高达 200 V/1 A
 2 档量程范围：20V 10A；200V 100mA
 电源电压：最小量程 ±20mV,最小分辨率 500nV
 电源电流：最小量程 ±10nA,最小分辨率 500fA
 测量电压：最小量程±20mV，最小分辨率：10nV
 测量电流：最小量程±10nA，最小分辨率：10fA
3、多频率电容测量单元 (CVU)
 频率范围为 4Hz 至 8 MHz，最小分辨率: 0.01Hz（1KHz 以下）
 测量精度：0.05%
 测试信号电平范围：0 Vrms - 5.0 Vrms
 提供 ±40 V 直流偏置
 交流阻抗测量 (C-V、C-f)
4、测试软件
（1）全中文图形化的用户界面，功能设置灵活方便，参数设置提供多种选择。
（2）实时显示图形曲线，并自动存储测试数据。
(3)具备完整的器件测试分类，包括如：输出特性、转移特性等，直接给出如：阈值电压、
正向导通电阻、反向击穿电压等。
（4）通用软件：
 IV：常规扫描与列表扫描，时间采样、脉冲测试等
 器件输出曲线测试程序，器件转移曲线测试程序
 CV：标准 CV 测试软件，器件工艺参数如：掺杂浓度、氧化层厚度、费米势等参数
计算软件
（5）选配专用的测试程序：
1）直线 4 探针的方块电阻/表面电阻率测试；
2）电容扫频、电容时间采样软件
3）材料的介电性能测试
4）器件变温条件下的特性测试软件（需要配置变温夹具）
5）有机器件测试程序
6）其他器件测试程序
5、标准测试夹具
适合四端口封装器件测试，并且可以更换多种封装。

6、选配测试夹具
1）探针台：
通常配置：4 寸真空吸附卡盘台体、体视显微镜、三同轴管状夹具、探针座、CCD
采集卡、屏蔽箱和探针等。
2）简易探针台
简易平台无真空吸附，4 个探针和支架，有额外的光纤固定支架

3）直线 4 探针夹具
用于方块电阻及表面电阻率的测试。

4）电化学夹具
用于电化学 IV、阻抗等测试，具有电极夹具。
5）材料介电测试夹具
主要支持块体和薄膜材料测试，常温和变温等。
6）器件变温特性测试夹具
7）多路程控开关
主要用于多路样品的测试。