显微热台(压电物镜位移台用于扫描显微成像)
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显微热台(压电物镜位移台用于扫描显微成像)
压电物镜位移台是专为驱动物镜头进行纳米级快速步进、扫描而设计的，它与压电纳米定位台、压电平台具有相同的原理，与之不同之处是具有专门针对物镜头的特殊螺纹适配接口，非常便于物镜头的连接与固定。
从上图中可看出，在外观上，压电平台与压电物镜位移台显著不同。
以芯明天P76压电物镜位移台为例，它的外形类似中空的圆柱形，结构内部采用对称式的驱动机构，在内侧中空位置固定物镜头，且物镜螺纹适配器可根据客户要求选择或定制。
芯明天P76压电物镜位移台
P76压电物镜位移台的行程为100μm（1μm是一百万分之一米），它的分辨率可高达2.5nm（1nm为十亿分之一米）；它的承载能力为500g，并且它的扫描阶跃时间可达2ms。配备闭环传感器后，它的重复定位精度可达满行程的0.02%。
闭环版本详细参数如下。
型号：P76.Z100S
运动自由度：Z
行程范围（0~120V）：80μm
行程范围（0~150V）：100μm
传感器类型：SGS
线性度：0.05%F.S.
重复定位精度：0.02%F.S.
推/拉力：70/10N
运动方向刚度：0.8N/μm
空载谐振频率：800Hz
空载阶跃时间：5ms
10%行程空载工作频率：400Hz
静电容量：7.2μF
重量：520g
通过激光准直仪测量P76压电物镜位移台运动的直线性。
应用举例
P76压电物镜位移台应用于显微扫描成像，以测量纳米结构。
下图应用中采用的是倒置使用压电物镜位移台，显微镜与物镜位移台位于样品的下方。该系统采用笼式结构组成，利用光学测量原理，通过P76位移台的纳米级高精度快速步进扫描，可对纳米结构进行高精度的测量，该测量非常适于生物、医疗等应用，同时它也是纳米加工中不可或缺的步骤。
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