日本微滤膜(氧化物陶瓷在半导体设备中大显身手)

Posted

篇首语:采得百花成蜜后,为谁辛苦为谁甜。本文由小常识网(cha138.com)小编为大家整理,主要介绍了日本微滤膜(氧化物陶瓷在半导体设备中大显身手)相关的知识,希望对你有一定的参考价值。

日本微滤膜(氧化物陶瓷在半导体设备中大显身手)

陶瓷材料是人类生活和现代化建设中不可缺少的一种材料。它是继金属材料,非金属材料之后人们所关注的无机非金属材料中最重要的材料之一。它兼有金属材料和高分子材料的共同优点,在不断改性的过程中,陶瓷材料以其优异的性能在材料领域独树一帜,受到人们的高度重视,在未来的社会发展中将发挥非常重要的作用。其中氧化物陶瓷具有高硬度,高耐磨性、耐腐蚀等特点,特别是其不存在氧化问题,因而作为一种特殊的结构陶瓷材料而有着广泛的应用。

抛光板,来源:日本京瓷

氧化物陶瓷主要包括氧化镁陶瓷、氧化铝陶瓷、氧化铍陶瓷、氧化锆陶瓷、氧化锡陶瓷、二氧化硅陶瓷、莫来石陶瓷。其中最常用的为氧化铝陶瓷和氧化锆陶瓷。

Al2O3陶瓷耐高温,热导率低,可以用作隔热材料,例如用于导弹喷管套衬、热电偶保护套、喷气火焰控制器,还可以用作高温炉管、坩埚等,透明氧化铝陶瓷还可以用作钠灯管。在化工应用方面,Al2O3陶瓷也有较广泛的用途,例如陶瓷化工填料球、无机微滤膜、耐腐蚀涂层等。ZrO2陶瓷材料由于其高熔点、低热导率和高的抗氧化能力,作为高温陶瓷可用于耐火材料以及燃炉内衬材料。Al2O3、ZrO2还可以制备陶瓷膜用于湿法冶金过程中的各种料液精滤处理;以及泡沫陶瓷材料过滤器用于铸造过程中金属液的过滤。

如今,除了以上应用,在另一个重要领域,氧化物陶瓷有着举足轻重的地位,那就是在半导体设备方面。据了解,半导体设备中会用到大量的精密陶瓷零部件,而这些陶瓷部件能占到半导体设备成本的10%以上,其中氧化铝、氧化锆等氧化物陶瓷是较为常用的精密部件用陶瓷材料。

例如氧化铝陶瓷,在半导体刻蚀设备中,刻蚀机腔室材料作为晶圆污染的主要来源,等离子刻蚀对其影响程度决定了晶圆的良率、质量、刻蚀工艺的稳定性等等。因此,研究和开发出一种极其耐刻蚀腔体材料成为半导体集成产业以及等离子刻蚀技术中一项极具挑战的任务。当前,主要采用高纯Al2O3涂层或Al2O3陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除了腔体以外,等离子体设备的气体喷嘴,气体分配盘和固定晶圆的固定环等也需用到氧化铝陶瓷。再例如在晶圆抛光工艺中,氧化铝陶瓷可被广泛应用于抛光板、抛光磨垫校正平台、真空吸盘等。

氧化锆陶瓷在半导体设备中同样有重要的应用,例如陶瓷劈刀,劈刀是引线键合过程中的必不可少的工具,其中部分厂家的陶瓷劈刀主要成分为氧化锆增强氧化铝,其微观结构均匀而致密,密度提高到4.3g/cm3。四方相氧化锆的含量和均匀致密的微观结构促使锆掺杂的陶瓷劈刀具有非常优异的力学性能,减少焊线过程中陶瓷劈刀尖端的磨损和更换的次数。

总之,氧化物陶瓷在半导体设备中的应用远比我们想象中的更加广泛,恰逢当前复杂的国际贸易形势,半导体设备与材料产业的迫切需求会推动国产半导体装备用陶瓷零部件的研发与生产,这既是机遇也是挑战。

相关参考

树脂切割片成套设备(陆芯精密划片机案例分享氧化铝陶瓷基板切割)

氧化铝陶瓷的应用在熔点超过2000℃的氧化物中,氧化铝陶瓷是应用最广泛、用途最广、产量最大的陶瓷材料。主要用于航空航天、汽车、消费品加工、半导体(广泛应用于多层布线陶瓷基板、电子封装和高密度封装基板)、刀...

微滤膜过滤孔径(反渗透海水淡化技术现状)

...。供养的人口不仅有中东的若干国家,还有美国、俄国、日本、意大利、西班牙等发达国家的部分地区,达1亿之众。从海水淡化的技术种类来说,目前主要的还是蒸馏法,但是,反渗透海水淡化技术由于其设备投资省、能量消...

无机膜过滤器(关于微滤膜在给水、中水回用领域作为预处理的技术应用)

微滤膜分离技术始于十九世纪中叶,是以静压差为推动力,从液相介质中截留悬浮颗粒、细菌及大分子量胶体等物质,以达到净化、分离和浓缩等目的。微孔滤膜具有高度均匀的孔径分布,孔径一般在0.1~1μm之间,分离效率高...

氧化锌压敏陶瓷的压敏机理(压敏电阻烧坏的原因后果及解决办法)

压敏电阻的电阻体材料是半导体,所以也是半导体电阻器的一种。现在常用的是氧化锌压敏电阻。 压敏电阻在电路各简单概括有三个作用:一过电压保护;二耐雷击要求;三安规测试需要。 压敏电阻不是感知压力,是一个电压...

焊机设备(微电子器件陶瓷管壳封装以及设备介绍-奥特恒业平行封焊机缝焊机)

...率、高耐湿性、高机械强度、高绝缘电阻等性能,因此在半导体封装领域已成为一种不可代替的封装材料,尤其适用于高功率电子产品以及要求较高的军工和航天等产品。主要应用的陶瓷材料为三氧化二铝、氧化铍和氮化铝。常...

焊机设备(微电子器件陶瓷管壳封装以及设备介绍-奥特恒业平行封焊机缝焊机)

...率、高耐湿性、高机械强度、高绝缘电阻等性能,因此在半导体封装领域已成为一种不可代替的封装材料,尤其适用于高功率电子产品以及要求较高的军工和航天等产品。主要应用的陶瓷材料为三氧化二铝、氧化铍和氮化铝。常...

日本水杯品牌排行榜(一个盘子一千,一个茶杯两万,日本的陶瓷为什么越来越高端?)

1最近,一个曾在日本著名服装品牌做中国区总经理的朋友告诉我,他也创业了,在中国耳濡目染几年之后,看到中国蓬勃的发展生机和消费市场的旺盛,他禁不住热血澎湃决定一试身手。我说你做了什么行业啊?他说陶瓷……...

日本可樂麗(如何选择直饮机?挖地三尺告诉你)

之前有小伙伴后台留言活儿姐:“家有奶娃,要买净水器,电商各种净水各式眼花,该选那个?希望可以直饮”。对于上面小伙伴的求助,活儿姐表示很正常!净水器五花八门,什么超滤机、什么反渗透净水器……balabala……不...

有机溶剂滤膜正反面(君硕杰净教你液槽器安装过程方法技巧)

...这款液槽过滤器也是君硕杰净的产品,该产品广泛适用于半导体行业,电子生产厂家及光学仪器,生物工业和其他对空气环境要求严格的生产场所。君硕杰净是广东翔龙新能源有限公司旗下工业净化设备品牌,专注工业净化设备...

异形氧化铝陶瓷(「Rayclass|锐课堂」激光制造的世界那么“微”妙)

诺贝尔物理学奖获得者RichardFeynman早在50年代末就曾预言,制造技术将沿着从大到小的途径发展。如今,激光工艺已广泛应用于制造业,比如金属的切割与焊接,与传统的大规模工业应用(例如钣金切割)相比,精密加工(切割...