无锡影速半导体科技有限公司(光刻机成为突破断供困局的关键的关键，上海微电子就看你的了)

Posted 2023-05-28

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实体经济是国民经济的基础，而制造业是实体经济的核心，信息化促进制造业的发展，信息化需要落地到服务器、存储、控制模组等硬件，而硬件的核心就是芯片，芯片制造的核心是光刻机，光刻机有多先进，芯片就能做得多先进。

难怪美国抓住了台积电和ASML，一个是生产芯片的，一个是生产光刻机的。抓住了这点就控制了全局。

在信息产业中，如果把芯片比做米，台积电就是那片地，光刻机就是耕地的拖拉机，要想实现大规模量产，就得使用现代化的先进设备。牛拉人锄也能种出稻米，但无法与现代化设备相比。

近期，不断传来美国对中国企业断供芯片的消息，从手机芯片到PC机、服务器芯片，被断供的公司也由华为，蔓延到曙光、浪潮等其他公司，美国这是想断了粮食，让中国信息产业处于无米之炊的境地。

目前芯片设计已经不是问题，华为已经能够设计出最先进的芯片，但还需要其他公司代工，如果台积电断供，那么华为只能依赖中芯国际一家公司代工芯片，但目前的中芯国际只能量产14nm的芯片，与台积电的7nm和5nm还差了一两代。

而中芯国际订购的ASML最新光刻机迟迟未到，也让中芯国际的技术停滞不前。目前看来，国内芯片制造就卡在光刻机这一设备上了。

光刻机是一个高精度高复杂集西方百年工业制造之结晶的高科技设备，ASML光刻机的光学设备来自美国，镜头组件来自德国蔡司，一台ASML光刻机需要5万个零配件，大部分来自美国、日本、德国等科技强国。

所幸的是，除了荷兰ASML、日本的尼康、佳能，中国也有一家企业可以制造光刻机。上海微电子（SMEE）就是中国唯一的光刻机制造厂商，而遗憾的是，我们较西方光刻机巨头研发起步晚了近20年，技术比世界第一的ASML还差得很远。

不过一切都在加速，美国的断供让我们感受到了前所未有的危机感，也从各个层面开始加速弥补差距。

光刻机由工件台、投影物镜以及光源三大核心系统组成，据悉，华卓精科已经成功掌握光刻机双工件台的核心技术，并在为上海微电子供货。上海微电子也表示将会在一年内交付首台28nm纯国产沉浸式光刻机，利用的就是华卓精科工作台，在多重曝光下实现7nm制程工艺的芯片生产。

实际上，除了上海微电子，我国还有四大光刻机企业，他们是中科院光电所，已经研发出365纳米波长，曝光分辨率达到22纳米的近紫外线光刻机；合肥芯硕半导体有限公司，已能实现最高200nm的量产，遗憾的是目前已经申请破产清算；无锡影速半导体科技有限公司，能实现最高200nm的量产；先腾光电科技有限公司，能够实现最高200nm的量产光刻机。

上海微电子可以实现90nm光刻机的生产，而ASML光刻机已经达到7nm和5nm，正在研制1nm制程。可以看出，我们的光刻机相对于世界水平还非常落后。应该形成如英特尔、台积电、三星和ASML利益捆绑的模式，让更多的中国信息产业巨头公司参股上海微电子，就有可能更快地缩小与ASML的差距，以突破断供困局。