旋转台(气浮运动平台之QFR系列气浮旋转台)

Posted 2023-05-28

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旋转台(气浮运动平台之QFR系列气浮旋转台)

在国家大力发展高端制造，鼓励发展自主品牌的大背景下，由多年从事精密运动平台研发和生产的技术人员共同组建成立。团队具有多年核心部件研发经验，拥有多种高端应用领域经验，成熟的产品应用案例。经过多年精密运动平台的技术积累和沉淀，已形成了一整套完备的精密运动平台系统的研发和生产体系。特别在气浮理论计算、实验仿真分析、结构优化设计、精密集成组装和测试等方面具备雄厚的实力。

背景介绍 BACKGROUND INTRODUTION

QFR 系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。QFR 的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X 射线衍射系统、光学检测和制造以及 MEMS/ 纳米技术设备制造等高端行业。

密封式设计 SEALED DESIGNING

对QFR 直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到最低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，最大减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。

非接触式结构 NON-CONTACTSTRUTURE

QFR 采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，最大限度的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计，以最小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得 QFR 非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。

高精度性能 HIGH PRECISION PERFORMANCE

气浮转台采用精密圆光栅反馈，先进的驱动控制对光栅信号细分，分辨率达 0.01 角秒，轴向跳动误差

＜80nm。

定制化设计 CUSTOM DESIGN

气浮转台可安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS 和惯性导航等应用。

注： 1. 空气供应需清洁，干燥至 0°F 露点，灰尘颗粒过滤≤0.25um 或纯度 99.99% 氮气。

2. 以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上 25mm 处，测试环境温度 20±1℃，湿度 40%-60%RH.

深圳市煜熙科技有限公司面向全国各大高校、研究院及高端装备制造企业提供最优的运动平台系统及解决方案。