探针台工作原理(自动探针台科普)
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探针台工作原理(自动探针台科普)
原创 芯片失效分析 半导体工程师 2022-01-18 09:07
一、 什么是自动探针台
自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。主要用于晶圆测试，晶圆尺寸：4英寸,6英寸,8 英寸，12英寸晶圆片装卸：1个载片盒 (25 或者 26 个片槽)，连续的可编程双向加载，快速单片晶圆手动上下片，防晶圆交叉保护 XYZ- 精度：±3微米。
二、 设备外观
三、 主要功能
1. TTL专用测试仪接口；GPIB/RS232/网络接口（选配）；与测试机连接方便；
2. Windows风格界面，动态显示测试过程，MAP图实时显示、存储；
3. Map导航功能，map编辑（可编辑标注DIE属性、测试区域）；
4. 自动测试方式有矩阵、圆形方式、Map方式；
5. 图像对准功能，自动扫描，自动首点对准；
6. 同步打点、离线打点功能（可导入map）；喷墨打点，墨点尺寸Ø0.5mm；
7. 分级权限管理；
8. 控制打印机打印测试结果；
9. 配合上位机，上传并记录测试数据。
四、 主要技术指标
五、使用环境：
1. 电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜1.5KW
2. 压缩空气源：> 0.7MPa，10L/H
3. 使用环境：温度：15ºC-25ºC 相对湿度：＜70%
来源：失效分析赵工
半导体工程师
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