成膜均匀(国内首款超大产能异质结专用PVD设备发布)

Posted 2023-05-26

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成膜均匀(国内首款超大产能异质结专用PVD设备发布)

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记者6月3日从中国电子科技集团有限公司获悉，该集团旗下电科装备成功发布国内首款超大产能异质结专用PVD(物理气相沉积)设备。

作为新一代高效异质结太阳能电池生产制造核心装备，其将为我国实现“碳达峰”“碳中和”提供坚实的科技支撑。

提效潜力高、降本空间大、工艺流程短等优势，是光伏行业未来的优选方案。电科装备此次推出的异质结专用PVD，突破了可调高磁场强度的旋转阴极系统、大跨度直流脉冲控制系统等关键技术，具有靶材利用率高、成膜均匀性好、设备稳定性高的特点，产能高达8000片/时，可大幅提升电池产线转换效率，提升我国光伏产业链高级化水平，推动我国光伏技术进步及成本快速下降，助力全面平价上网。

电科装备始终致力于推动光伏装备的国产化，先后研制管式PECVD、平板PECVD、扩散氧化设备、等离子体刻蚀机等设备，在成套高端关键制造工艺光伏装备方面拥有多项自主知识产权的核心技术，形成了“装备+工艺+服务”的核心优势，国产装备水平和产线覆盖率均位于全球前列，为土耳其高质量建设了首个光伏全产业链交钥匙工程，竖起了全球光伏整线高端装备领域的“中国名片”。

下一步，电科装备将以关键装备国产化新突破为契机，紧跟行业发展方向，瞄准技术前沿，不断占领价值链高端，引领设备迭代升级和系统能力提升，助力我国光伏产业获得更大飞跃。

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