怎么控制气体流量(热式质量流量传感器在半导体生产过程中的流量控制技术方案)
Posted
篇首语：黄沙百战穿金甲，不破楼兰终不还。本文由小常识网(cha138.com)小编为大家整理，主要介绍了怎么控制气体流量(热式质量流量传感器在半导体生产过程中的流量控制技术方案)相关的知识，希望对你有一定的参考价值。
怎么控制气体流量(热式质量流量传感器在半导体生产过程中的流量控制技术方案)
半导体生产过程中的某些工艺涉及气体与半导体基片的反应，比如沉积工艺和刻蚀工艺，气体的流量将对工艺结果产生重要影响。为了使生产的半导体获得较高的良品率，必须对流入反应腔室的气体流量进行精确控制，尤其是随着半导体工艺集成度的不断提高，对气体流量的误差要求也进一步提高。
因而随着真空、半导体等领域对微小气体流量控制的需求，热式质量流量传感器因其高精度的特点被广泛采用。相比体积流量测量方式，热式质量流量传感器不依赖介质密度变化，避免了环境温度变化带来的测量偏差。热式质量流量传感器主要由毛细管、热源、温度传感器三部分组成，气体经过上游热源并带走热量，使下游热源初始温度变化，通过温度传感器获取上下游热源温差，此温差与流体质量流量成线性关系。工采网推荐使用瑞士IST 热式质量流量传感器 - MFS02。
瑞士IST 热式质量流量传感器 - MFS02对于大流量与快速响应的应用，CTA模式下有极高分辨率适用于通过桥式电路测量极低流量与泄漏检测应用且对对腐蚀性气体和蒸气具有高耐化学性不同的灵敏度与电路拓扑结构可供选择，支持用户订制，可测量流向。
瑞士IST 热式质量流量传感器MFS02 参数：
相关参考
...体质量流量计基于传热原理，通过检测管道内流体与流量传感器之间的热量交换关系来测量流量。热式气体质量流量计具有压损低、量程大、高精度和高可靠性、无可动部件且可用于极低气体流量监控和控制等优点。热式气体质...
...量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)，将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大
...量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)，将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大
气体质量流量控制器(气体质量流量控制器的外观和尺寸是什么样的)
成都松盛测控技术有限公司生产和销售的气体质量流量控制器和流量计主要是依靠热式原理，采用新型传感制作工艺，具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、耐压高、线性度好等优点。外观和尺寸都非常小巧，是一款非常...
燃气管道检漏设备(小量程的热式气体质量流量控制器在天燃气输配设备中的使用情况)
...设备制造有限公司生产的小量程的甲烷热式气体质量流量控制器在天燃气输配设备中的使用情况，甲烷热式气体质量流量控制器也可主要用于家用燃气阀门的气体流量控制。以前的家用燃气阀门的控制主要是通过人工手动调节针...
燃气管道检漏设备(小量程的热式气体质量流量控制器在天燃气输配设备中的使用情况)
...设备制造有限公司生产的小量程的甲烷热式气体质量流量控制器在天燃气输配设备中的使用情况，甲烷热式气体质量流量控制器也可主要用于家用燃气阀门的气体流量控制。以前的家用燃气阀门的控制主要是通过人工手动调节针...
热式气体质量流量计工作原理(热式气体质量流量计怎么安装好呢？)
...有两个直径φ3左右的不锈钢棒，这两个钢棒就是流量计的传感器。 将仪表传感器杆上的止退螺母松开，使腔式连接螺母能够沿传感器杆滑向传感器护套，使护套完全
热式气体质量流量计工作原理(热式气体质量流量计怎么安装好呢？)
...有两个直径φ3左右的不锈钢棒，这两个钢棒就是流量计的传感器。 将仪表传感器杆上的止退螺母松开，使腔式连接螺母能够沿传感器杆滑向传感器护套，使护套完全
智能炉膛负压表(燃烧中央控制系统中使用的热式气体质量流量计)
燃烧中央控制系统主要是使锅炉炉膛内燃料燃烧放出的能量适应负荷的需要，同时保持燃料和空气比例合理，燃烧产生的烟气和引风平衡，以确保锅炉安全、经济运行的模拟量控制系统的总称。燃烧控制系统通常包括燃料量控制...
气体量流量显示控制器(氧气投料专用的热式气体质量流量控制器)
氧气投料专用的热式气体质量流量控制器LF系列的产品主要是用于氧气进料控制系统包括氧气流量建立系统和氧气投料系统。氧气的流量控制主要是依靠于热式气体质量流量控制器来操作控制，四川莱峰流体设备制造有限公司生...