快速退火炉(管式炉选购有什么技巧？碰到问题怎么办？)

Posted 2023-05-26

篇首语：少年乘勇气，百战过乌孙。本文由小常识网(cha138.com)小编为大家整理，主要介绍了快速退火炉(管式炉选购有什么技巧？碰到问题怎么办？)相关的知识，希望对你有一定的参考价值。

管式炉选购技巧建议：

1、根据温度选择管式炉

A、选择工作温度时，请注意仪器所能保持的zui高温度(<1小时)和仪器能连续工作的温度(安全、连续使用的温度)。

B、仪器使用的加热元件限制了加热炉的zui大工作温度,目前我公司加热元件可分为四类:

（1）250 ~ 1250℃ 采用电阻丝加热元件或红外灯管加热元件，zui高加热温度1200℃，长时间使用1100℃，采用K型热电偶测温（如果客户需要也可更换为S热偶）。

（2）1300 ~ 1600℃ 采用碳化硅加热元件，采用S型热电偶测温。

（3）1600 ~ 1800℃ 采用MoSi2加热元件（禁止长时间在800℃以下加热），采用B型热电偶测温。

2、根据样品大小选择坩埚→炉管管径→管式炉

A、坩埚选择（严禁不用坩埚直接将样品放入常规炉管）

a.石英坩埚:≤1200℃使用石英管，热处理温度超过600℃时，请不要用氧化铝坩埚。

b.氧化铝坩埚：≤1800℃使用刚玉管，热处理温度超过900℃时，请不要用莫来石坩埚。

c.石墨坩埚：≤ 2300℃

例如：

1.需要对粉末进行900℃热处理，选择石英坩埚装载样品。

2.需要将合金在1600℃熔化，选择氧化铝坩埚。

B、管径的选择

（1）选择好坩埚后，根据坩埚装载样品后的体积选择合适的炉管管径（一般买炉子会标配有加热炉管）。

a.石英管 ≤1200℃ （真空环境下zui高1000℃）

b.刚玉管 ≤1800℃ （刚玉管不建议真空环境下使用）

C、诺巴迪管式炉管径与坩埚尺寸估算表

3、根据温区选择管式炉

4、根据功能选择加热炉

管式炉为基础加热系统，您可以根据不同的需求选择成套科晶系统，如CVD、 PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和二维材料生长系统等。

例如：

（1）生长石墨烯/PECVD系统，整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统。

（2）立式管式炉：加热管垂直放置，以悬吊样品的方式，为样品提供淬火。

（3）RTP(快速热处理加热炉):可以对样品进行快速加热和快速冷却。

a.NBD-HR1200-110IT快速退火炉，最快500℃/s升温速度，红外灯管加热。

b.快速加热冷却炉，加热炉加热到某一温度后，滑至样品所在区域，可以提高升温速度，热处理结束，将炉体移开，使样品所在区域暴露在炉膛外快速冷却。

（4）高温高压炉/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管，对样品进行高温高压和真空处理。

（5）旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末，同时也可以达到粉末均匀包覆的效果。

（6）氢气炉/气氛炉:氢气处理或其他危险气体的实验，请和销售技术人员提前说明。不建议使用普通管式炉做危险实验。

使用管式炉遇到的几个常见问题分析

管式炉要在还原气氛条件下工作，考虑到安全和成本的问题，如何使用混合还原气体？以下是我们可能会遇到的三个问题。

1.用氢气和氩气的混合，还是用氢气和氮气的混合气呢？比例是多少呢?答:高纯氮气要比高纯氩气便宜，要是氮气不影响反应，还用氮气合算。氢气的浓度尽量低一些，固体的表面积尽量大一些。

2. 单独买两瓶纯气再混合，还是买一瓶厂家混合好的混合气？答:还是自己混合比较合适，比例要求又不是很精确，用浮子流量计就行，还可以随时改变比例。厂家都是按计量标准配置的，价格相对来说比较贵。当然，自己需要多花钱买一个气瓶。

3. 除了管式炉和气体之外，在使用这种还原气体工作时，还需要配其它特殊的配件吗？答:其它的特殊配件不需要了，记得把尾气排到室外就行了。

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