平台式探针仪(华钛技术:什么是探针台,它是如何工作的?)
Posted
篇首语:青春须早为,岂能长少年。本文由小常识网(cha138.com)小编为大家整理,主要介绍了平台式探针仪(华钛技术:什么是探针台,它是如何工作的?)相关的知识,希望对你有一定的参考价值。
平台式探针仪(华钛技术:什么是探针台,它是如何工作的?)
半导体探针台是一种成熟的工具,用于测试硅晶片、裸片和开放式微芯片上的电路和设备——但它是什么以及它是如何工作的?
探针台允许用户将电子、光学或射频探针放置在设备上,然后测试该设备对外部刺激(电子、光学或射频)的响应。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以更复杂,涉及复杂微电路的全功能测试。
探针台可以在整个晶圆上或被锯成单个芯片后运行测试。整个晶圆级的测试允许制造商在整个生产过程的不同阶段多次测试设备,并密切监控制造以查看是否存在任何缺陷。在最终封装之前对单个芯片进行测试可以将有缺陷的器件从流通中移除,确保仅封装功能器件。探针台在整个研发、产品开发和故障分析中都有很大的用途,工程师需要灵活而精确的工具来对设备的不同区域进行一系列测试。
让一个好的探针台与众不同并为您的测试增加价值的是它能够精确控制这些探针在设备上的位置、外部刺激的应用方式以及测试发生时设备周围的环境条件。
基本组件
探针台由六个基本组件组成:
- Chuck – 一种用于固定晶片或裸片而不损坏它的装置。
- 载物台 – 用于将卡盘定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。
- 机械手——用于将探头定位在被测设备 (DUT) 上。
- 压板 - 用于固定操纵器并使探针与设备接触。
- 探头尖端和臂 - 安装在机械手上,它们直接接触设备。
- 光学 - 用于查看和放大被测设备和探头尖端。
它是如何工作的?
探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上,该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。
机械手放置在平台的平面上,并在机械手中插入探针臂和尖端。探头尖端必须适合要执行的测试程序。然后,用户通过调整相应的操纵器将探针尖端精确定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触;现在可以测试该设备。
对于具有多个器件的晶圆,在测试第一个器件后,可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。重复定位探针尖端的过程,直到测试完所有必需的设备。这个过程都可以由操作员手动完成,但如果载物台和机械手是电动的,并且显微镜连接到计算机视觉系统,那么这个过程可以变成半自动或全自动。这可以提高探针台的生产力和吞吐量,并减少运行多个测试所需的劳动力。
配置您的探针台
从这些探针台基础知识开始,您应该就您的测试要求提出一些问题,这些问题将允许您指定您的探针台所需的选项:
- 您需要什么级别的自动化?
- 您的测试将如何影响所选探针?
- 您是否需要控制设备周围的温度和当地环境?
- 您需要光刺激还是磁刺激?
- 您正在探测什么尺寸的特征?
- 您将如何联系被测设备?
相关参考
...创芯片失效分析半导体工程师2022-01-1809:07一、什么是自动探针台自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。主要用于晶圆测试,晶圆尺寸:4英寸,6英寸,8英寸,12英寸晶圆片装卸:1个载片盒(25...
目前在5G移动通信、雷达和自动驾驶等产业的驱动下,微波毫米波器件作为核心元器件取得了快速发展。2020年3月,工信部《关于推动5G加快发展通知》指出,持续支持5G核心芯片、关键元器件、基础软件、仪器仪表等重点领域研...
探针影像仪(「检测」自动影像测量仪在PCB电路板行业中的应用)
随着科技的发展,现在对各种部件的测量精度要求越来越高,因此对影像测量仪这一款精度测量仪器的要求也是越来越苛刻,影像测量仪是将传统的光学投影和计算机完美结合的产物,相比传统的测量技术,这是一种技术飞跃。...
弹簧探针测rf(市场分析:我国探针台国产率较低 2023年后优势企业发展潜力大)
我国探针台国产率较低优势企业发展潜力大 探针台是半导体测试三大核心设备之一,其与测试机、分选机三者合计约占半导体测试设备市场的95.2%。探针台是重要的检测设备之一,应用在晶圆检测和成品检测过程中,用于保...
...规模与经营情况、员工数量等多项指标。荣登“2023年度探针行业十大品牌”推荐榜如下:2023年度探针行业品牌榜第一名:LANYI东莞市台易电子科技有限公司是一家以韩国技术为主导的科技公司,公司旗下设有探针事业部(中韩...
探针仪(用于量子芯片的光刻机、刻蚀机,EDA,我们都研发成功了)
众所周知,目前的硅基芯片已经快要发展到极限了,台积电、三星目前已经实现了3nm的量产,而科学家们预测硅基芯片的物理极限是1nm。而从3nm到1nm之间,也就只有2nm这么一代工艺了,之后就再难前进了。那么在硅基芯片之后,...
...齐测量时所必须的工具及全部仪器附件,并将仪器和接地探针擦拭干净,特别是接地探针,一定要将其表面影响导电能力的污垢及锈渍清理干净。 ③将接地干线与接地体的连接点或接地干线上所有接地支线的连接点断开,使...
...用来治疗牲畜的疾病。1970年代,科学家开始将其用作DNA探针。除了早期采用之外,溴化乙锭相对便宜。即使是大批量,它仍然非常实惠,每克大约30美元,但根据供应商和包装尺寸,价格可能会大大提高或降低。溴化乙锭非常适...
探针弹簧厂家(精微制造技术领先,隐形冠军-和林微纳,战略布局半导体测试探针)
...挺)一、MEMS精微零部件隐形冠军,战略布局半导体测试探针1.1深耕MEMS声学传感器,精微制造技术业内领先苏州和林微纳科技股份有限公司成立于2012年,是一家专业从事精密零部件先进微成形技术研发和制造的国家高新技术企业...
摘要贵州电网有限责任公司都匀供电局的研究人员岑荣佳、史纯清,在2019年第5期《电气技术》杂志上撰文,分析了继电保护、高压预试工作中测试线接线存在的问题,在没有改变原有鳄鱼夹的功能上作了创新,设计了一种防误...