干电池泵(「托理拆利」Edwards真空泵iXL120爱德华半导体真空干泵特性参数)

Posted 2023-05-25

篇首语：鸟欲高飞先振翅，人求上进先读书。本文由小常识网(cha138.com)小编为大家整理，主要介绍了干电池泵(「托理拆利」Edwards真空泵iXL120爱德华半导体真空干泵特性参数)相关的知识，希望对你有一定的参考价值。

干电池泵(「托理拆利」Edwards真空泵iXL120爱德华半导体真空干泵特性参数)

深圳市托理拆利机电设备有限公司提供真空领域技术及产品服务的高新技术企业，拥有合工大真空系专业背景组成的技术团队，具备国际化视野和多年真空应用实战经验，在真空泵选型及真空系统设计方面有丰富的积累与创新。TORRY专注于真空检漏、真空系统领域的技术型专业供应商，是Edwards爱德华真空泵授权代理商，为科研真空设备、科学仪器真空设备、实验室高真空设备、半导体真空设备、光伏真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。技术服务：138，237，883，80

「托理拆利」Edwards真空泵iXL120爱德华半导体真空干泵特性参数

简单介绍：

iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards是紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于水处理和其他清洁工作应用。它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。 iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards可用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。其低振动和低噪音级别的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。通过环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低操作成本并帮助保护环境！

详情介绍：

iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards描述

Edwards iXL120 是紧凑型低能量的 110 m3h-1 干泵，用于水处理和其他清洁工作应用。它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。

Edwards iXL120 是可用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。其低振动和低噪音级别的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。通过环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低操作成本并帮助保护环境！

iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards特性与优势

的舱室抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)

仅仅 0.55kW 的功耗有助于程度减少客户成本

环保模式可以在空闲期间多减少 92% 的功耗

35 oC 的水供给有助于降低设备冷却水要求

极小且极轻，有助于节省宝贵的工厂空间

油润滑的轴承可顺畅、低振动的运行，无需例行维护工作。

的双入口布置可实现高效的前级输送和位置选件

零氮吹扫选件无需氮气供给，从而节省安装和运行成本

iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards参数

iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards订购信息

iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头，PN：A54113010

iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷却水接头，PN：A54113020

iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷却水接头，PN：A54113610

iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷却水接头，PN：A54113710

iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A54113011

iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A54113221

iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A54113611

iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A5411

iXL 高性能干式真空泵机组

iXL 系列干泵满足平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场涉及的排气要求。

这些性能的泵旨在大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须维护。

适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵

iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。其低振动和低噪声级的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而且助于节省宝贵的工厂地面空间。环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本，有助于保护环境。

的舱室抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)

仅仅 0.55kW 的功耗有助于大程度减少客户成本

环保模式可以在空闲期间多减少 92% 的功耗

高 35oC 的水供给有助于降低设备冷却水要求

极小且极轻，有助于节省宝贵的工厂空间

适用于严苛应用的大型 iXL 干泵

iXL1000：紧凑型低能量的干泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和计量）的且安静的泵之一。此产品在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低成本并帮助保护环境。

的舱室抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)

仅仅 0.55kW 的功耗有助于大程度减少客户成本

环保模式可以在空闲期间多减少 92% 的功耗

高 35oC 的水供给有助于降低设备冷却水要求

极小且极轻，有助于节省宝贵的工厂空间

适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP

IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够以低能耗快速抽空负载锁定舱室。

IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定和清洁应用。其低振动和低噪声级的使其适合于在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间，同时大程序地提高泵送性能。环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本，有助于保护环境。

适合在 Applied Materials 的制程平台上使用，可提高处理能力，同时减少能耗。

3 万亿次循环 MTBF

与原始 IPUP 相比，速度提高 50%，能耗降低 70%

提供适用于现有 IPUP 的插入式替换部件

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