干泵(真空泵市场广阔，那么当下，哪种真空泵最值得去做，你知道吗？)

Posted 2023-05-25

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干泵(真空泵市场广阔，那么当下，哪种真空泵最值得去做，你知道吗？)

真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。在我国，真空泵是一个量大面广的产品，但是虽然它的产量很大，但是产值却不高。虽然真空泵是一个直接影响到真空成套设备性能质量必不可少的基础产品，不过在真空泵产品的高端领域.，国产品牌真空泵并不多，大量的市场份额被进口企业所把持。真空泵的市场发展速度可以用日新月异来形容，几乎每时每刻都在根据用户需求的变动而动态变化着。真空泵市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展、真空泵技术不断革新以及真空泵应用领域的日益扩大。

2015年3月16日，纽约PRNewswire，2015-2018中国真空泵行业报告中指出，真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等领域，近年来，随着冶金、化工、食品等行业的快速发展，真空泵的市场也增长迅速。2014年，中国真空泵的产量达到956万台,同比增长了7.2%。据此预测，至2018年这个数字很有可能攀升至1184万台，其中有5.5%的年均复合增长率。

1干泵市场

国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa，抽速从20m3/h~500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、医药、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

2水环式真空泵市场

水环式真空泵行业在国内和国际市场上发展形势都十分看好，我国这几年的水环式真空泵发展态势十分好，专家预测，到2020年，中国的水环式真空泵进口额将达到惊人的50亿美元，超过美国的49亿美元成为世界上最大的水环式真空泵进口国。届时将排在水环式真空泵进口额3到6位的分别是：日本、印度、德国和法国。

近十年来，在少数水环式真空泵企业的带动下，多品种、密封性能、强度要求、调节功能、动作性能和流通性能，特别是密封性能，都有了长足的进步。但就整体来说，差距还很大，有很多工作要做。

3螺杆式真空泵市场

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,但其制造技术为国外掌握,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。

目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段，很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手，当抽取一些活泼气体时，由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的，用在需要控制音量的场合，如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位，就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。

4旋片式真空泵市场

随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。水环真空泵作为新一代节能型产品，在市场上普遍受欢迎，水环式真空泵目前已经得到广泛的使用，如在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、得到广泛的应用，在市场上的需求量大。

5滑阀式真空泵市场

国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。

6罗茨真空泵市场

从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。

德国普发罗茨泵

目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。

7 分子泵市场

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

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分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦)，德国普发，欧瑞康莱宝， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是国产仪器厂商，如北京北仪创新真空技术有限责任公司，成都南光机器有限公司，中科院沈阳科学仪器等企业。但是，无论是在技术还是在市场发展上，国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。

来源：设备管理交流