常见真空泵有哪几种(各种不同的真空泵在真空系统中所起的作用)

Posted 2023-05-25

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常见真空泵有哪几种(各种不同的真空泵在真空系统中所起的作用)

由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面。

1、在系统中做主泵

所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。

2、粗抽泵

粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。

3、前级泵

前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。

4、维持泵

维持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。

5、粗真空泵或低真空泵

粗、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。

6、高真空泵

高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。

7、超高真空泵

超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。

8、增压泵

增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。

离子清洗机介绍

等离子清洗机

1.等离子体是正离子和电子的密度大致相等的电离气体。由离子，电子，自由激进分子以及中性粒子共同组成。2.属于物质的第四态。由于等离子体是具有比气体更高的能量组合体，处于等离子体环境中的物质可以获得更多的物理化学等反应特性。3.等离子清洗机的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。4.等离子体清洗也是所有清洗方法中最为切底的剥离式的清洗。可以广泛应用于半导体，微电子，COG前，LCD，LCM及LED制程。5.器件封装前，真空电子，连接器和继电器以及太阳能光伏行业等的精密清洗，塑料，橡胶，金属和陶瓷等表面的清洗，刻蚀处理，灰化处理，表面活化等以及生命科学实验等领域。